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正硅酸乙酯

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硅酸乙酯(TEOS)是一种无色液体，主要用作防热涂料、耐化学作用的涂料、硅烷偶联剂、有机合成中间体以及半导体领域中Chemicalbook化学气相沉积(CVD)SiO2薄膜的前驱体等。硅酸乙酯的熔点为-77℃，沸点165.5℃，微溶于水，溶于乙醇和乙醚。

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